发明名称 | 水溶液溶胶凝胶法制备多孔二氧化钒薄膜 | ||
摘要 | 本发明涉及一种水溶液溶胶凝胶法制备多孔二氧化钒薄膜,步骤如下:1)制备四价钒离子水溶液溶胶:在50‑80℃水浴条件下向超纯水中加入柠檬酸,溶解后加入V<sub>2</sub>O<sub>5</sub>,搅拌得到四价钒离子水溶液,再加入成膜剂,混合均匀得到四价钒离子水溶液溶胶,陈放一天后得到相应凝胶;2)制备多孔二氧化钒薄膜:在干净的基片表面涂布步骤1)所得凝胶,干燥后得到胶膜,将胶膜置于真空管式炉中,抽真空后通入惰性气体,在惰性气氛下热处理得到具有半导体‑金属相变特性的VO<sub>2</sub>薄膜。 | ||
申请公布号 | CN105779975A | 申请公布日期 | 2016.07.20 |
申请号 | CN201610200909.0 | 申请日期 | 2016.03.31 |
申请人 | 武汉理工大学 | 发明人 | 赵修建;何莜嘉;刘保顺 |
分类号 | C23C18/12(2006.01)I | 主分类号 | C23C18/12(2006.01)I |
代理机构 | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人 | 唐万荣 |
主权项 | 水溶液溶胶凝胶法制备多孔二氧化钒薄膜,其特征在于,步骤如下:1)制备四价钒离子水溶液凝胶:在50‑80℃水浴条件下,向超纯水中加入柠檬酸,完全溶解后,再加入V<sub>2</sub>O<sub>5</sub>,搅拌得到四价钒离子水溶液,加入成膜剂,混合均匀得到四价钒离子水溶液溶胶,陈放一天后,得到相应的凝胶;2)制备多孔二氧化钒薄膜:在干净的基片表面涂布步骤1)所得凝胶,真空干燥后得到胶膜,将胶膜置于真空管式炉中,抽真空后通入惰性气体,在惰性气氛下热处理得到具有半导体‑金属相变特性的VO<sub>2</sub>薄膜。 | ||
地址 | 430070 湖北省武汉市洪山区珞狮路122号 |