扩散剂组合物、杂质扩散层的形成方法及太阳能电池

摘要

本发明涉及一种扩散剂组合物，其是用于在半导体基板上形成杂质扩散剂层的扩散剂组合物，其含有：硼酸酯(A)、下述通式(1)所示的多元醇(B)和烷氧基硅烷化合物(C)。(通式(1)中，k为0～3的整数；m为1以上的整数；R²及R³分别独立地为氢原子、羟基、碳数1～5的烷基、或碳数1～5的羟基烷基；存在多个R²及R³时，多个R²及R³可以分别相同或不同；k为2以上时，多个R²及R³必定含有一个以上的羟基或碳数1～5的羟基烷基；R⁴及R⁵分别独立地为氢原子或碳数1～3的烷基。)。

主权项

一种扩散剂组合物，其特征在于，是用于在半导体基板上形成杂质扩散剂层的扩散剂组合物，其含有：硼酸酯(A)、下述通式(1)所示的多元醇(B)、烷氧基硅烷化合物(C)和所述多元醇(B)以外的有机溶剂(D)，所述硼酸酯(A)与所述多元醇(B)形成络化物，所述硼酸酯(A)的含量是所述多元醇(B)的含量的5倍摩尔以下，通式(1)中，k为0～3的整数；m为1以上的整数；R²及R³分别独立地为氢原子、羟基、碳数1～5的烷基、或碳数1～5的羟基烷基；存在多个R²及R³时，多个R²及R³可以分别相同或不同；k为2以上时，多个R²及R³必定含有一个以上的羟基或碳数1～5的羟基烷基；R⁴及R⁵分别独立地为氢原子或碳数1～3的烷基。