硅锭及其制备方法

摘要

本发明涉及一种硅锭及其制备方法。上述硅锭的制备方法包括如下步骤：将掺杂剂与涂层材料混合均匀之后涂覆在铸锭炉的坩埚的内壁上，形成坩埚涂层；待坩埚涂层凝固之后，将硅料加入铸锭炉的坩埚内，之后将硅料依次进行熔化、定向凝固和退火，得到硅锭。上述硅锭的制备方法中，先将掺杂剂与涂层材料混合均匀，并涂覆在坩埚的内壁上，之后将硅料进行熔化的阶段，会有少量的掺杂剂进入熔化的硅液中并与硅液融合，进行分凝。定向凝固的过程即长晶阶段，坩埚内壁上的大量掺杂剂会扩散到硅锭中，能够减少掺杂剂的分凝，有效控制硅锭的电阻率，使硅锭的电阻率分布均匀，提高铸锭的良率，有效降低成本。此外，还涉及一种采用上述制备方法制备而成的硅锭。

主权项

一种硅锭的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将掺杂剂与涂层材料混合均匀之后涂覆在铸锭炉的坩埚的内壁上，形成坩埚涂层；待所述坩埚涂层凝固之后，将硅料加入所述铸锭炉的坩埚内，之后将所述硅料依次进行熔化、定向凝固和退火，得到硅锭。