发明名称 |
一种利用粒子束调控技术制备多孔掺杂类金刚石薄膜的方法 |
摘要 |
一种利用粒子束调控技术制备掺杂多孔类金刚石(DLC)薄膜的方法,属于无机纳米材料领域。该发明利用磁过滤阴极弧沉积装置,以镍源为阴极,以含碳气体为前驱气体,在一定的粒子束参数条件下沉积碳基镍纳米复合薄膜,其结构为镍金属颗粒分散在周围的非晶碳相中,仅有少量的镍原子掺杂在非晶碳相中。将制备好的薄膜材料用化学溶液腐蚀,去除薄膜中的镍金属相而保留非晶碳相和其中掺杂的镍原子,用去离子水冲洗后即可得到掺杂多孔DLC薄膜。通过对实验中的粒子束参数进行控制,即实现孔隙直径、孔隙密度、薄膜中SP3键相对含量以及掺杂量均可调控的掺杂多孔DLC薄膜材料。该方法操作简单,制备周期短并可实现掺杂多孔DLC薄膜材料的大批量生产。 |
申请公布号 |
CN105779965A |
申请公布日期 |
2016.07.20 |
申请号 |
CN201610037867.3 |
申请日期 |
2016.01.21 |
申请人 |
北京师范大学 |
发明人 |
张旭;周晗;吴先映;廖斌;英敏菊 |
分类号 |
C23C16/27(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/27(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种利用粒子束调控技术制备多孔掺杂DLC薄膜的方法,其特征在于包括以下步骤:步骤1、利用磁过滤阴极弧沉积装置以镍为阴极弧源,以含碳气体为前驱气体,以单晶硅为衬底制备Ni/DLC纳米复合薄膜;步骤2、用盐酸或者硝酸溶液腐蚀Ni/DLC纳米复合薄膜,控制腐蚀时间,得到所述的多孔掺杂DLC薄膜。 |
地址 |
100875 北京市海淀区新街口外大街19号 |