一种基于柔性电容的应变传感器及其制造和测试方法

摘要

一种基于柔性电容的应变传感器及其制造和测试方法，包括衬底，衬底上由下至上依次设置有底层金属极板、SiO介质层和上层金属极板，衬底上还设置有将底层金属极板、SiO介质层和上层金属极板全部覆盖在内的SU_8隔离屏蔽层，SU_8隔离屏蔽层的上端面分别设置有底层金属极板引出端头和上层金属极板引出端头，SU_8隔离屏蔽层内设置有用于底层金属极板与底层金属极板引出端头相连接的底层金属通孔，及用于上层金属极板与上层金属极板引出端头相连接的上层金属通孔。本发明可有效测量器件表面微小的应变变化，灵敏度高。大大提高了传感器的测量范围。具有成膜质量高、附着性好、厚度薄、内应力小等优点，能有效解决电容应变传感器与基底的附着性问题。

主权项

一种基于柔性电容的应变传感器，包括衬底(1)，其特征在于，所述的衬底(1)上由下至上依次设置有底层金属极板(2)、SiO介质层(3)和上层金属极板(4)，所述的衬底(1)上还设置有将所述的底层金属极板(2)、SiO介质层(3)和上层金属极板(4)全部覆盖在内的SU_8隔离屏蔽层(7)，所述SU_8隔离屏蔽层(7)的上端面分别设置有底层金属极板引出端头(8)和上层金属极板引出端头(9)，所述的SU_8隔离屏蔽层(7)内设置有用于底层金属极板(2)与所述底层金属极板引出端头(8)相连接的底层金属通孔(5)，及用于上层金属极板(4)与所述上层金属极板引出端头(9)相连接的上层金属通孔(6)。