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Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Relativposition von zwei zueinander beweglichen Objekten. Relative Positionsinformationen resultieren aus der interferierenden Überlagerung mindestens zweier Paare von Teilstrahlenbündeln. Ein von einer Lichtquelle her einfallendes Strahlenbündel erfährt in einer Abtasteinheit über ein erstes Aufspaltelement eine Aufspaltung in mehrere Teilstrahlenbündel in einer ersten Aufspaltebene. Ein Teil der Teilstrahlenbündel gelangt über Umlenkelemente in Richtung einer Reflexions-Maßverkörperung, ein weiteres Teilstrahlenbündel erfährt über ein zweites Aufspaltelement eine Aufspaltung in weitere Teilstrahlenbündel. An zwei Auftrefforten auf der Reflexions-Maßverkörperung gelangen mindestens zwei Paare von Teilstrahlenbündeln zur interferierenden Überlagerung. Über einen ersten und einen zweiten Detektor sind verschiebungsabhängige erste und zweite Abtastsignale erfassbar, aus denen Positionsinformationen bezüglich einer vertikalen und einer ersten lateralen Verschiebungsrichtung der Objekte ableitbar sind. Das einfallende Strahlenbündel erfährt in der Abtasteinheit über das erste Aufspaltelement ferner eine Aufspaltung in weitere Teilstrahlenbündel in einer zweiten Aufspaltebene, die senkrecht zur ersten Aufspaltebene orientiert ist. Die Teilstrahlenbündel propagieren in der zweiten Aufspaltebene analog zu den Teilstrahlenbündeln in der ersten Aufspaltebene. Über dritte und vierte Detektoren sind verschiebungsabhängige dritte und vierte Abtastsignale erfassbar, aus denen Positionsinformationen bezüglich der vertikalen Verschiebungsrichtung und einer zweiten lateralen Verschiebungsrichtung der Objekte ableitbar sind (Fig. 1a). |
