一种基于静态累积衰减比较法的正压漏孔校准装置及方法

摘要

本发明提供一种基于静态累积衰减比较法的正压漏孔校准装置及方法，该校准装置及方法能够实现对正压漏孔的校准，且校准范围较宽、满足多种示漏气体的校准。该装置主要由抽气系统、氦质谱检漏仪和两套取样系统组成；取样系统包括压力计、集气室、截止阀、截止阀II、截止阀III、取样室及毛细管；连接关系为：压力计与集气室相连，集气室通过截止阀I与取样室的进气口相连，取样室的出气口依次通过截止阀II、毛细管及截止阀III与氦质谱检漏仪相连；抽气系统主要由抽气泵、截止阀A和截止阀B组成；抽气泵通过截止阀A与其中一套取样系统的取样室相连，抽气泵通过截止阀B与另一套取样系统的取样室相连。

主权项

一种基于静态累积衰减比较法的正压漏孔校准装置，其特征在于，主要由抽气系统、氦质谱检漏仪(20)和两套取样系统组成；其中所述取样系统包括压力计(1、10)、集气室(2、11)、截止阀I(4、13)、截止阀II(6、15)、截止阀III(18、19)、取样室(5、14)及毛细管(16、17)；连接关系为：压力计(1、10)与集气室(2、11)相连，集气室(2、11)通过截止阀I(4、13)与取样室(5、14)的进气口相连，取样室(5、14)的出气口依次通过截止阀II(6、15)、毛细管(16、17)及截止阀III(18、19)与氦质谱检漏仪(20)相连；所述抽气系统主要由抽气泵(8)、截止阀A(7)和截止阀B(9)组成；抽气泵(8)通过截止阀A(7)与其中一套取样系统的取样室(5)相连，抽气泵(8)通过截止阀B(9)与另一套取样系统的取样室(14)相连。