MoS₂/NbC/DLC多元纳米复合超润滑薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及MoS₂/NbC/DLC多元纳米复合超润滑薄膜的制备方法，该方法包括以下步骤：1）将基体用无水乙醇和丙酮分别超声清洗10分钟；2）抽真空度至3×10^-3Pa，充入氩气，偏压600-1000V等离子处理时间5~10min；3）打开溅射靶1、3，电流6-20A，偏压50-500V，在Ar、甲烷气氛中磁控溅射MoS₂/Nb靶；4）其Ar气流量固定120-300sccm，CH₄气体流量逐步增加到氩气的1/2-2/3。本发明发展的具有高硬度、低摩擦系数和优异抗磨损性能以及具有环境自适应的新型润滑薄膜材料为薄膜材料的制备提供了一种新思路，必将推动润滑薄膜技术和应用迈向一个新的台阶。

主权项

MoS₂/NbC/DLC多元纳米复合超润滑薄膜的制备方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：1）将基体用无水乙醇和丙酮分别超声清洗10分钟；2）抽真空度至3×10^‑3Pa，充入氩气，偏压600‑1000V等离子处理时间5~10min；3）打开溅射靶1、3，电流6‑20A，偏压50‑500V，在Ar、甲烷气氛中磁控溅射MoS₂/Nb靶；4）其Ar气流量固定120‑300sccm，CH₄气体流量逐步增加到氩气的1/2‑2/3。