电子级砷烷中磷烷杂质含量的分析装置和方法

摘要

本发明提供了一种电子级砷烷中磷烷杂质含量的分析装置和方法。所述的电子级砷烷中磷烷杂质含量的分析装置，其特征在于，包括十通阀、定量环、第一分离分析柱、第二分离分析柱和检测器，十通阀的10号口与载气进口连通，十通阀的9号口连接第一分离分析柱，第一分离分析柱连接第二分离分析柱，第二分离分析柱连接检测器，十通阀的6号口连接样品出口，十通阀的7号口连接样品进口；在检测状态时，十通阀的10号口与1号口连通，1号口与4号口连通，4号口与5号口连通，5号口经定量环与8号口连通，8号口与9号口连通，6号口与7号口连通。本发明分析电子级砷烷中的痕量磷烷杂质准确度高，分析时间短，消耗样品少，灵敏度高。

主权项

一种电子级砷烷中磷烷杂质含量的分析装置，其特征在于，包括十通阀(3)、定量环(4)、第一分离分析柱(5)、第二分离分析柱(6)和检测器，十通阀(3)的10号口与载气进口连通，十通阀(3)的9号口连接第一分离分析柱(5)，第一分离分析柱(5)连接第二分离分析柱(6)，第二分离分析柱(6)连接检测器，十通阀(3)的6号口连接样品出口，十通阀(3)的7号口连接样品进口；在初始状态时，十通阀(3)的6号口与5号口连通，5号口经定量环(4)与8号口连通，8号口与7号口连通，10号口与9号口连通；在检测状态时，十通阀(3)的10号口与1号口连通，1号口与4号口连通，4号口与5号口连通，5号口经定量环(4)与8号口连通，8号口与9号口连通，6号口与7号口连通。