用于制造用于超导层的衬底的方法

摘要

提供了一种用于制造适合支撑细长超导元件的衬底的方法，其中，在固体元件(202)上布置一个或多个细长条掩蔽材料，从而形成一侧或两侧由细长条掩蔽材料定界的一个或多个暴露的细长区域，并且在所述固体元件上布置填充材料，使得所述在一个或多个暴露的细长区域中的每个暴露的细长区域被填充材料的一部分(318a‑318c)覆盖，其中，填充材料的每个部分还覆盖与该每个部分相邻的细长条掩蔽材料的至少一部分，并且随后去除所述一个或多个细长条掩蔽材料，从而形成相应的一个或多个底切空间，其中，所述一个或多个底切空间中的每个底切空间沿着填充材料的一部分形成在填充材料的所述一部分与固体元件之间。该方法还可包括在衬底上布置缓冲材料(640)和/或超导材料(642、644、646)，从而提供具有减少的AC损耗的超导结构(601)。

主权项

一种用于制造适合支撑细长超导元件的衬底(300)的方法，该方法包括：‑提供固体元件(202)；‑在所述固体元件上布置一个或多个细长条掩蔽材料(316a‑316b)，其中，所述一个或多个细长条掩蔽材料被布置成形成一个或多个暴露的细长区域(323a‑323c)，其中，所述一个或多个暴露的细长区域中的每个暴露的细长区域的一侧或两侧由所述一个或多个细长条掩蔽材料中的至少一个细长条掩蔽材料定界；‑在所述固体元件上布置填充材料(317)，使得在所述一个或多个暴露的细长区域中的每个暴露的细长区域被填充材料的一部分(318a‑318c)覆盖，其中，填充材料的每个部分还覆盖与所述每个部分相邻的细长条掩蔽材料的至少一部分；以及‑去除所述一个或多个细长条掩蔽材料，从而形成相应的一个或多个底切空间，其中，所述一个或多个底切空间中的每个底切空间沿着填充材料的一部分形成在填充材料的所述一部分与所述固体元件之间。