溶解氮浓度监测方法及基材清洁方法

摘要

本发明提供能够在无需复杂操作且降低成本的情况下实时精确监测清洁液的溶解氮浓度的溶解氮浓度监测方法。利用溶解氧浓度计43测量超声波照射期间的溶解氧浓度D_O2。通过由测得的溶解氧浓度D_O2减去初始溶解氧浓度D₀计算溶解氧浓度增加量ΔD_O2。然后，由储存部分46读出对应于特定的溢流率或超声波输出功率水平的近似式，并将由储存部分46读出的近似式用于由溶解氧浓度增加量ΔD_O2计算混合的超纯水的溶解氮浓度D_N2。

主权项

在用超声波照射有基材浸入其中的清洁液时监测清洁液的溶解氮浓度的溶解氮浓度监测方法，该方法的特征在于包括以下步骤：测量通过由超声波照射引起的自由基反应由于由水分子产生的氧分子导致的清洁液的溶解氧浓度增加量；及基于溶解氮浓度与溶解氧浓度增加量之间的预定的关系，由测得的所述溶解氧浓度增加量计算清洁液的溶解氮浓度。