主权项 |
一种洁净室尘埃污染源定位识别和自动处理装置,其特征在于:包括洁净室、人员通道、高效出风口、传递窗、多个尘埃粒子探测器、工控机及其显示屏、第一位置开关传感器、第二位置开关传感器及多个回风口;所述的人员通道设置在所述的洁净室的一侧,所述的高效出风口设置在所述的洁净室的顶部,所述的传递窗设置在所述的洁净室的后端面上,所述的多个回风口分别设置在所述的洁净室的后端及另一侧,位于所述的洁净室的底部;所述的高效出风口及多个回风口内分别设有电动风阀;所述的多个尘埃粒子探测器分别设置在所述的人员通道、高效出风口及传递窗处,位于所述的洁净室的内壁上;所述的第一位置开关传感器设置在所述的人员通道处,位于所述的洁净室的内壁上;所述的第二位置开关传感器设置在所述的传递窗处,位于所述的洁净室的内壁上;所述的工控机及其显示屏设置在所述的洁净室的后端,位于所述的洁净室的内壁上,所述的工控机及其显示屏分别与所述的多个尘埃粒子探测器、第一位置开关传感器、第二位置开关传感器及电动风阀连接。 |