一种多晶硅用超纯水处理系统

摘要

本实用新型属于纯水处理技术领域一种多晶硅用超纯水处理系统，包括原水箱、介质过滤装置、活性炭过滤装置、软化装置、精密过滤器、RO反渗透装置、EDI电除盐装置、臭氧反应装置和紫外消毒装置，所述原水箱一侧连接有原水泵，所述原水泵一侧连接有介质过滤装置，所述介质过滤装置一侧连接有活性炭过滤装置，所述活性炭过滤装置一侧连接有软化装置，所述软化装置一侧连接有精密过滤器，所述精密过滤器一侧连接有RO反渗透装置，所述RO反渗透装置一侧设置有EDI电除盐装置，所述EDI电除盐装置，所述EDI电除盐装置一侧设置有臭氧反应装置，本实用新型采用RO反渗透和EDI离子交换相结合的成熟工艺，具有运行可靠、操作维护方便。

主权项

一种多晶硅用超纯水处理系统，其特征在于：包括原水箱（1）、介质过滤装置（3）、活性炭过滤装置（4）、软化装置（5）、精密过滤器（6）、RO反渗透装置（7）、EDI电除盐装置（11）、臭氧反应装置（12）和紫外消毒装置（13），所述原水箱（1）一侧连接有原水泵（2），所述原水泵（2）一侧连接有介质过滤装置（3），所述介质过滤装置（3）一侧连接有活性炭过滤装置（4），所述活性炭过滤装置（4）一侧连接有软化装置（5），所述软化装置（5）一侧连接有精密过滤器（6），所述精密过滤器（6）一侧连接有RO反渗透装置（7），所述RO反渗透装置（7）一侧设置有EDI电除盐装置（11），所述EDI电除盐装置（11），所述EDI电除盐装置（11）一侧设置有臭氧反应装置（12）。