用于自动调整配给器的配给单元的方法和设备

摘要

一种配给设备包括框架以及第一和第二配给单元，所述框架具有构台，所述构台被配置以提供在X轴和Y轴方向上的移动，所述第一和第二配给单元被连接到所述构台并且被配置以配给材料到衬底上。所述第二配给单元通过自动调整机构连接到所述构台。所述配给设备进一步包括控制器，所述控制器被配置以控制所述构台、所述第一配给器、所述第二配给器和所述自动调整机构的操作。所述自动调整机构被配置以在X轴和Y轴方向上移动所述第二配给器，以操控所述第一配给单元和所述第二配给之间的间距。进一步公开在所述衬底上配给材料的方法。

主权项

一种配给设备，包括：框架，所述框架包括构台，所述构台被配置以提供在X轴和Y轴方向上的移动；支撑部，所述支撑部被连接到所述框架，所述支撑部被配置以在所述构台下方支撑至少一个电子衬底；第一配给单元，所述第一配给单元被连接到所述构台，所述第一配给单元被配置以配给材料；第二配给单元，所述第二配给单元通过自动调整机构连接到所述构台，所述第二配给单元被配置以配给材料；以及控制器，所述控制器被配置以控制所述构台、所述第一配给器、所述第二配给器和所述自动调整机构的操作，其中所述自动调整机构被配置以在X轴和Y轴方向上移动所述第二配给器，以操控所述第一配给单元和所述第二配给之间的间距。