发明名称 一种检测UV胶水固化过程动态光学特性的方法
摘要 本发明属于光电子器件与制造技术领域,具体为一种检测UV胶水固化过程动态光学特性的方法,其包括如下步骤:制备微型波导腔,将UV胶水倒入其中;将两片一侧镀有贵金属薄膜的玻璃片接合波导腔,形成双面金属包覆波导结构波导;搭建入射光路,UV灯从一侧进行固化;利用位置敏感探测器实时检测激光在该波导结构中传播并发生全反射时的侧向位移;通过激光在该波导结构中传播并产生导模时大大增强的侧向位移处,即侧向位移出现尖锐峰处对应的模式序数、已知的入射角度,以及该波导结构的模式本征方程反推出UV胶水介电常数的动态变化,随后便可计算得到UV胶水折射率的动态变化。其优点在于本发明方法简单、有效。
申请公布号 CN103969220B 申请公布日期 2016.07.13
申请号 CN201410212899.3 申请日期 2014.05.20
申请人 复旦大学 发明人 李大海;张浩;徐敏
分类号 G01N21/41(2006.01)I 主分类号 G01N21/41(2006.01)I
代理机构 上海正旦专利代理有限公司 31200 代理人 陆飞;王洁平
主权项 一种检测UV胶水固化过程动态光学特性的方法,其特征在于,其采用双面金属包覆波导结构波导进行检测,具体包括以下步骤:步骤a. 采用磁控溅射法在两块玻璃片上分别镀厚度不同的贵金属薄膜;步骤b. 采用光刻方法在较厚贵金属薄膜上制作亚毫米尺度的围栏,作为波导腔;步骤c. 用酒精将步骤b制备得到的具有波导腔的器件进行清洗,晾干后,将UV胶水注入波导腔中,将包覆较薄贵金属薄膜的玻璃片盖在波导腔上,上玻璃片的贵金属薄膜接触UV胶水,形成波导腔为导波层的双面金属包覆波导结构波导;步骤d. 采用夹具将上述的波导结构固定住;步骤e. 将激光光束进行准直,以角度q入射到上玻璃片上,让上层玻璃与上层贵金属膜界面处发生全反射,激光光束反射光的位置用位置敏感探测器探测接收;步骤f. 将光束宽度稍微大于围栏尺寸的UV光从下方入射到波导腔的UV胶水上,其强度根据所固化的胶水的固化时间进行调制;步骤g. 调节光路,使从双面金属包覆波导的上层玻璃与上层贵金属膜界面处发生全反射时反射的激光垂直入射到位置敏感探测器探头上,实时探测UV胶水固化过程中激光反射光的位置坐标,计算变化的光斑与其初始位置的距离,初始位置为固化前未产生导模时反射光斑所处位置;步骤h. 根据侧向位移出现尖锐峰处对应的模式序数,已知的入射角q,贵金属薄膜和玻璃的介电常数,波导的模式本征方程,反推出UV胶水介电常数的动态变化,进而计算得到UV胶水折射率的动态变化。
地址 200433 上海市杨浦区邯郸路220号