主权项 |
一种检测UV胶水固化过程动态光学特性的方法,其特征在于,其采用双面金属包覆波导结构波导进行检测,具体包括以下步骤:步骤a. 采用磁控溅射法在两块玻璃片上分别镀厚度不同的贵金属薄膜;步骤b. 采用光刻方法在较厚贵金属薄膜上制作亚毫米尺度的围栏,作为波导腔;步骤c. 用酒精将步骤b制备得到的具有波导腔的器件进行清洗,晾干后,将UV胶水注入波导腔中,将包覆较薄贵金属薄膜的玻璃片盖在波导腔上,上玻璃片的贵金属薄膜接触UV胶水,形成波导腔为导波层的双面金属包覆波导结构波导;步骤d. 采用夹具将上述的波导结构固定住;步骤e. 将激光光束进行准直,以角度q入射到上玻璃片上,让上层玻璃与上层贵金属膜界面处发生全反射,激光光束反射光的位置用位置敏感探测器探测接收;步骤f. 将光束宽度稍微大于围栏尺寸的UV光从下方入射到波导腔的UV胶水上,其强度根据所固化的胶水的固化时间进行调制;步骤g. 调节光路,使从双面金属包覆波导的上层玻璃与上层贵金属膜界面处发生全反射时反射的激光垂直入射到位置敏感探测器探头上,实时探测UV胶水固化过程中激光反射光的位置坐标,计算变化的光斑与其初始位置的距离,初始位置为固化前未产生导模时反射光斑所处位置;步骤h. 根据侧向位移出现尖锐峰处对应的模式序数,已知的入射角q,贵金属薄膜和玻璃的介电常数,波导的模式本征方程,反推出UV胶水介电常数的动态变化,进而计算得到UV胶水折射率的动态变化。 |