传感器器件、传感器模块、力检测装置、机器人

摘要

本发明提供传感器器件、传感器模块、力检测装置、机器人。传感器器件具备：封装；传感器元件，其配置于上述封装；以及盖体，其对上述封装进行密封，在上述盖体具备可挠部，在深度方向上俯视观察上述封装时，该可挠部包围上述传感器元件的周围并且具有可挠性。

主权项

一种传感器器件，其特征在于，具备：第一部件，其具有凹部；传感器元件，其配置于所述凹部，并具有压电体；以及第二部件，其与所述第一部件接合，并对所述第一部件的所述凹部进行密封，所述传感器元件具有与所述第二部件接触的接触面，所述第二部件具有：第一面区域，该第一面区域与所述传感器元件的所述接触面接触；和第二面区域，该第二面区域与所述第一部件接合，在所述第一面区域与所述第二面区域之间具备可挠部，该可挠部具有可挠性，所述第一部件在所述凹部的深度方向观察的俯视情况下呈矩形，在俯视观察所述第二部件时，所述可挠部为圆形形状、或者角为圆弧状的多边形形状，在所述第一面区域与所述第二面区域之间具有高低差。