发明名称 太阳能电池单体的检查装置以及太阳能电池单体的处理装置
摘要 太阳能电池单体(100)的检查装置(1)具备:可见光源(11),其照射可见光;CCD摄像机(15),其对被太阳能电池单体(100)的防反射膜反射而得到的反射图像进行测量;红外光源(13),其对太阳能电池单体(100)照射红外光;以及CCD摄像机(16),其对透过太阳能电池单体(100)而得到的透过图像进行测量。在该检查装置(1)中,将反射图像与透过图像进行比较,将在反射图像中成为亮点的区域中的在透过图像中成为暗点的区域判断为包括颗粒的区域,并且将在反射图像中成为亮点的区域中的除被判断为包括颗粒的区域的区域以外的区域判断为包括针孔的区域。
申请公布号 CN104115004B 申请公布日期 2016.07.13
申请号 CN201280069425.7 申请日期 2012.02.10
申请人 株式会社岛津制作所 发明人 高见芳夫
分类号 G01N21/88(2006.01)I;G01N21/894(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 主分类号 G01N21/88(2006.01)I
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇
主权项 一种太阳能电池单体的检查装置,检查形成有防反射膜的太阳能电池单体,该太阳能电池单体的检查装置的特征在于,具备:可见光照射单元,其从上述太阳能电池单体的上述防反射膜侧照射可见光;反射图像测量单元,其对从上述可见光照射单元照射并被上述太阳能电池单体的防反射膜反射而得到的反射图像进行测量;红外光照射单元,其从上述太阳能电池单体的上述防反射膜的相反侧照射红外光;透过图像测量单元,其对从上述红外光照射单元照射并透过上述太阳能电池单体而得到的透过图像进行测量;比较单元,其将由上述反射图像测量单元测量出的反射图像与由上述透过图像测量单元测量出的透过图像进行比较;以及判断单元,其根据上述比较单元的比较结果,将在上述反射图像中成为亮点的区域中的在上述透过图像中成为暗点的区域判断为包括上述防反射膜上存在的异物的区域,并且将在上述反射图像中成为亮点的区域中的除被判断为包括上述异物的区域的区域以外的区域判断为包括形成于上述防反射膜的针孔的区域。
地址 日本京都府