物理量传感器、电子设备以及移动体

摘要

本发明提供一种物理量传感器、具备该物理量传感器的电子设备以及移动体，其中所述物理量传感器能够减少因振动元件的振动而造成加速度检测元件的检测精度的降低。物理量传感器(1)具有：振动元件，其进行驱动振动；加速度检测元件，其对加速度进行检测；半导体元件(3)，其与振动元件(6)以及加速度检测芯片(4)中的至少一方电连接；封装件(2)，其具有对振动元件(6)、加速度检测芯片(4)、半导体元件(3)进行收纳的收纳空间(S1)，半导体元件(3)被固定在封装件(2)内，加速度检测芯片4经由半导体元件(3)而被固定在封装件(2)内，在俯视观察封装件(2)时，加速度检测芯片(4)的至少一部分与振动元件(6)重叠。

主权项

一种物理量传感器，其特征在于，具有：振动元件，其进行驱动振动；加速度检测元件，其对加速度进行检测；半导体元件，其与所述振动元件以及所述加速度检测元件中的至少一方电连接；封装件，其具有对所述振动元件、所述加速度检测元件以及所述半导体元件进行收纳的收纳空间，所述半导体元件被固定在所述封装件内，所述加速度检测元件经由所述半导体元件而被固定在所述封装件内，在俯视观察所述封装件时，所述加速度检测元件的至少一部分与所述振动元件重叠。