光感测阵列的光感测单元的制造方法及其结构

摘要

一种光感测阵列的光感测单元的制造方法，包括提供基板，基板上具有至少一单元区域。在基板上的单元区域内形成主动元件。在基板上的单元区域内形成第一电极层，所述第一电极层与主动元件电性连接。在主动元件上形成保护层。在保护层上形成遮蔽层，以遮蔽主动元件。于形成遮蔽层之后，在单元区域内的保护层上形成光感测层，以及，于光感测层上形成第二电极层。

主权项

一种光感测阵列的光感测单元的制造方法，其特征在于，包括：提供一基板，该基板上具有至少一单元区域；在该基板上的该单元区域内形成一主动元件；在该基板上的该单元区域内形成一第一电极层，该第一电极层与该主动元件电性连接；在该主动元件上形成一保护层；在该保护层上形成一遮蔽层，以遮蔽该主动元件；于形成该遮蔽层之后，在该单元区域内的该保护层上形成一光感测层；以及于该光感测层上形成一第二电极层。