一种高温自补偿多层复合薄膜应变计及其制备方法

摘要

本发明提供一种高温自补偿多层复合薄膜应变计及其制备方法，所述应变计包括高温合金构件基底、氧化铝绝缘层、第一TaN应变层、PaCr应变层、第二TaN应变层、氧化铝或氧化硅保护层和Pt电极。以高温合金构件为基底，在基底上双离子束溅射沉积氧化铝绝缘薄膜，在绝缘薄膜上射频磁控溅射沉积TaN和PaCr自补偿应变层，在应变层上双离子束溅射氧化铝或氧化硅保护层。本发明适用于在构件工作过程中的实时测量；采用TaN和PaCr合金应变层，克服了温度变化对构件应变测量的影响，使高温测量精度大大提高；采用离子束溅射氧化铝或氧化硅保护层结构致密、结合力好，对功能结构起到了非常好的保护作用。

主权项

一种高温自补偿多层复合薄膜应变计，其特征在于，所述应变计包括高温合金构件基底(1)、氧化铝绝缘层(2)、第一TaN应变层(3)、PaCr应变层(4)、第二TaN应变层(5)、氧化铝或氧化硅保护层(6)和Pt电极(7)，其中：氧化铝绝缘层(2)沉积于高温合金构件基底(1)上；第一TaN应变层(3)沉积于氧化铝绝缘层(2)上；PaCr应变层(4)沉积于第一TaN应变层(3)上；第二TaN应变层(5)沉积于PaCr应变层(4)上；氧化铝或氧化硅保护层(6)覆盖于第二TaN应变层(5)之上；Pt电极(7)沉积于氧化铝绝缘层(2)上并以侧壁同时与第一TaN应变层(3)、PaCr应变层(4)、第二TaN应变层(5)和氧化铝或氧化硅保护层(6)相连，同时Pt电极(7)的上表面暴露于氧化铝或氧化硅保护层(6)之外用于引线。