一种MEMS麦克风

摘要

本实用新型公开了一种MEMS麦克风，包括由上至下放置的第三线路板、第一线路板和第二线路板，第一线路板包括：第一基材，第一基材中心围成第一线路板的空腔，第二线路板包括第二基材，第一线路板和第二线路板通过半固化片粘接。在第一基材底面靠近空腔的外围设置第一挡胶铜箔，在第二基材上面对应空腔的位置设置第二挡胶铜箔；半固化片置于第一线路板和第二线路板之间，半固化片的内边缘与第一挡胶铜箔和第二挡胶铜箔的外边缘对齐。第一挡胶铜箔和第二挡胶铜箔有效地避免了半固化片溢出至空腔内，进而避免其导致的短路或者产品的性能、可靠性不稳定等问题。

主权项

一种MEMS麦克风，包括由上至下放置的第一线路板(1)和第二线路板(2)，所述第一线路板(1)包括第一基材(11)，所述第一基材(11)围成所述第一线路板(1)的空腔(12)，所述第二线路板(2)包括第二基材(21)，所述第一线路板(1)和第二线路板(2)通过半固化片(3)粘接，其特征在于，在所述第一基材(1)底面靠近所述空腔(12)的外围设置第一挡胶铜箔(17)，在所述第二基材(21)上面对应所述空腔(12)的位置设置第二挡胶铜箔(24)，所述第二挡胶铜箔(24)的外边缘与所述第一挡胶铜箔(13)的外边缘对齐；所述半固化片(3)置于所述第一线路板(1)和所述第二线路板(2)之间，所述半固化片(13)的内边缘(31)与所述第一挡胶铜箔(17)和所述第二挡胶铜箔(24)的外边缘对齐，所述第一挡胶铜箔(17)和所述第二挡胶铜箔(24)的厚度之和与所述半固化片(3)的厚度相等。