除气腔内的温度监控装置

摘要

一种除气腔内的温度监控装置，包括腔体、圆片支撑装置，所述圆片支撑装置置于所述腔体内，所述圆片支撑装置包括圆片支撑环，此外，还包括温度监控器，所述温度监控器设置于所述圆片支撑环内侧，用于监控放置于所述圆片支撑环上的圆片的温度。通过在除气腔圆片支撑环内侧加装温度监控器，温度监控器再外接温度显示装置和温度调节装置，可以准确地监测圆片在除气过程中温度的变化，并根据温度数值调整加热电源的输出功率和时间，以获得最优化的工艺温度。

主权项

一种除气腔内的温度监控装置，包括腔体、圆片支撑装置，所述圆片支撑装置置于所述腔体内，所述圆片支撑装置包括圆片支撑环，其特征在于：还包括温度监控器，所述温度监控器设置于所述圆片支撑环内侧，用于监控放置于所述圆片支撑环上的圆片的温度；所述圆片支撑环通过内侧的容置槽对圆片进行支撑；所述温度监控装置还包括温度显示装置和温度调节装置，所述温度显示装置与温度监控器相连，用于显示温度监控器测量的温度数值；所述温度监控器包括至少一个子温度监控器，所述子温度监控器围绕圆片支撑环内侧均匀分布。