基于调配器的半导体阻抗测试的最佳阻抗点快速定位方法

摘要

本发明公开了一种基于调配器的半导体阻抗测试的最佳阻抗点快速定位方法，控制调配器归零，控制X轴移动到当前工作频率波长1/2处；在Y轴全行程范围内两端及中段均值取若干点分别控制滑块移动相应位置并进行输出功率值记录；根据记录值取输出功率最大点，以该点相邻两点为行程范围仍旧取相同数量的点控制滑块沿Y轴移动至各点并记录输出功率值；直至滑块移动至最小步距，寻找到Y轴最佳阻抗匹配点；保持滑块Y轴位置不变，确定X轴最佳阻抗匹配点。本发明在半导体功率器件的输入/输出阻抗测试方面减少了测试时间，提高了测试效率，降低了器件由于工作于非标准状态损坏的几率。

主权项

一种基于调配器的半导体阻抗测试的最佳阻抗点快速定位方法，其特征是：包括以下步骤：(1)控制调配器X轴和Y轴归零，以长度平均值考虑，控制X轴移动到当前工作波长1/2处；(2)在Y轴全行程范围内两端及中段均值取若干点分别控制滑块移动相应位置并进行输出功率值记录；(3)根据记录值取输出功率最大点，以该点相邻两点为行程范围仍旧取相同数量的点控制滑块沿Y轴移动至各点并记录输出功率值；(4)重复执行步骤(3)，直至滑块移动至最小步距，确定Y轴最佳阻抗匹配点；(5)保持滑块Y轴位置不变沿波长范围内在一个波长距离均分若干点，分别控制滑块移动至相应位置记录输出功率值，确定X轴最佳阻抗匹配点；(6)根据当前滑块坐标对应查找计算相应位置校准值，即为被测半导体功率器件的最佳阻抗匹配值。