一种曲面金属图形的制作方法和曲面金属图形基板

摘要

本发明提供了一种曲面金属图形的制作方法和曲面图形基板。该曲面金属图形的制作方法包括：对曲面载体表面进行金属镀膜，以使曲面载体表面形成金属层；在金属层上形成抗蚀膜，其中抗蚀膜遇光照射后固化；将具有预设图案的曲面光罩与抗蚀膜贴合，并对其曝光，以固化未被曲面光罩遮盖的抗蚀膜；移除曲面光罩，然后对抗蚀膜进行清洗，以移除未固化的抗蚀膜；对金属层进行刻蚀，去除未固化的抗蚀膜所对应的金属层，以形成与预设图案相对应的曲面金属图形。本发明通过对曲面载体镀铜以形成金属层，并在金属层表面涂布抗蚀膜，继而对其进行曝光、刻蚀、显影，形成所需金属图形。本发明由于在异型三维曲面上制作精密金属线图案，从而可实现异型三维曲面线路印制以及超材料的制作。

主权项

一种曲面金属图形的制作方法，其特征在于，用于异型三维曲面超材料的制作，包括：对异型三维曲面载体表面进行金属镀膜，以使所述异型三维曲面载体表面形成金属层；在所述金属层上形成抗蚀膜，其中所述抗蚀膜遇光照射后固化；将具有预设图案的曲面光罩与所述抗蚀膜贴合，并对所述抗蚀膜进行曝光，以固化未被所述曲面光罩遮盖的所述抗蚀膜；移除所述曲面光罩，然后对所述抗蚀膜进行清洗，以移除未固化的所述抗蚀膜；对所述金属层进行刻蚀，去除未固化的所述抗蚀膜所对应的金属层，以形成与所述预设图案相对应的所述曲面金属图形；所述曲面金属图形为精密金属线图案。