超高真空试验腔中光路精密调节及转换装置

摘要

超高真空试验腔中光路精密调节及转换装置，属于在超高真空环境下光学技术领域，为了实现利用同一光源评价多腔镜组，该装置包括EUV光源、样品污染腔、闸板阀、光路精密调节及转换装置、镜组真空腔和曝光腔；该发明在超高真空环境中所利用的光路精密调节及转换装置采用三点支撑两维移动、两维转动精密可调方法准确调节定位反射镜空间位置；并保证设计与安装时反射镜旋转轴系的轴线一定与反射镜反射面同心共面；利用等腰三角稳定性原理将弹性元件布置在旋转轴线的垂直平面上，并确保拉簧挂钉在转轴中心线的延长线中,并保证转换前与转换后拉簧处于相同变形与受力状态使反射镜定位；该装置转换可在真空箱外操作，使反射镜快速切换定位聚焦。

主权项

超高真空试验腔中光路精密调节及转换装置，其特征是，第一深沟球轴承(409)安装到转动轴(429)上，第二深沟球轴承(431)安装到轴承座(408)上并将其组装成一配合体，深沟球轴承端面垫圈(410)安装在第一深沟球轴承(409)的下端，通过螺母锁紧；点支座(426)、槽支座(413)和面支座(419)与转轴连接板(416)连接固定，转轴连接板(416)安装到转动轴(429)上；精调球头螺杆(421)旋入弹性精调螺套(427)成一体，且安装到镜座支板(430)上，微调锁紧螺母(428)安装到弹性精调螺套(427)上，通过微调锁紧螺母(428)调节弹性精调螺套(427)与精调球头螺杆(421)配合间隙；反射镜(412)装入反射镜座(401)内，用反射镜压紧圈(415)固定后并与镜座支板(430)连接成组合体，同时将该组合体通过镜座支板(430)及精调螺杆固紧螺钉(418)安装在转轴连接板(416)上，将所述组合体通过轴承座(408)与轴承座支板(422)连接用螺钉固紧；两个拉簧挂钉(402)分别设置在拉簧挂钉长支杆(403)和拉簧挂钉短支杆(404)上，拉簧挂钉长支杆(403)与轴承座支板(422)连接，拉簧挂钉短支杆(404)与转轴连接板(416)连接紧固；螺钉锁紧螺母(405)和定位螺钉(406)组装后与定位螺钉支杆(407)配合成两套后分别连接安装在轴承座支板(422)，另一套先与定位螺钉支杆连接板(414)连接再与底板(420)连接固定；定位拉簧(417)两端分别安装到两个拉簧挂钉(402)上；转换驱动组件(411)密封连接在底板(420)上；并通过转换驱动组件轴固紧螺钉(424)将其与精密调节及转换装置(4)中轴系连接紧固。