发明名称 一种黑硅太阳能电池的制备方法
摘要 本发明公开了一种黑硅太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:(1)将待处理的硅片表面进行抛光处理;(2)在硅片的抛光面上形成掺杂结;(3)利用HF溶液进行回刻,在硅片表面去除死层的同时形成黑硅结构;(4)清洗刻蚀去边、镀减反射膜、丝网印刷、烧结形成欧姆接触,即可得到黑硅太阳能电池。本发明在硅片表面去除死层的同时形成黑硅结构,不仅降低了表面复合,而且有效地提高了太阳能电池的转化效率。
申请公布号 CN105742406A 申请公布日期 2016.07.06
申请号 CN201610108899.8 申请日期 2016.02.26
申请人 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 发明人 杨健;沈波涛;党继东
分类号 H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 代理人 陆金星
主权项 一种黑硅太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)将待处理的硅片表面进行抛光处理;(2)在硅片的抛光面上形成掺杂结;结深为600~700nm;(3)利用金属离子催化刻蚀技术进行回刻,在去除死层的同时形成黑硅结构;(4)清洗刻蚀去边、镀减反射膜、丝网印刷、烧结形成欧姆接触,即可得到黑硅太阳能电池。
地址 224431 江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号