发明名称 |
一种黑硅太阳能电池的制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种黑硅太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:(1)将待处理的硅片表面进行抛光处理;(2)在硅片的抛光面上形成掺杂结;(3)利用HF溶液进行回刻,在硅片表面去除死层的同时形成黑硅结构;(4)清洗刻蚀去边、镀减反射膜、丝网印刷、烧结形成欧姆接触,即可得到黑硅太阳能电池。本发明在硅片表面去除死层的同时形成黑硅结构,不仅降低了表面复合,而且有效地提高了太阳能电池的转化效率。 |
申请公布号 |
CN105742406A |
申请公布日期 |
2016.07.06 |
申请号 |
CN201610108899.8 |
申请日期 |
2016.02.26 |
申请人 |
盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 |
发明人 |
杨健;沈波涛;党继东 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 |
代理人 |
陆金星 |
主权项 |
一种黑硅太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)将待处理的硅片表面进行抛光处理;(2)在硅片的抛光面上形成掺杂结;结深为600~700nm;(3)利用金属离子催化刻蚀技术进行回刻,在去除死层的同时形成黑硅结构;(4)清洗刻蚀去边、镀减反射膜、丝网印刷、烧结形成欧姆接触,即可得到黑硅太阳能电池。 |
地址 |
224431 江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号 |