一种可动刀口装置和光刻机系统

摘要

本实用新型提供一种可动刀口装置及具有该可动刀口装置的光刻机系统，可动刀口装置位于照明光源和掩膜版之间，包括外部框架和位于外部框架内的两对相互正交刀口刀片组件，每对刀口刀片组件包括两个相互平行的刀口刀片组件，每个刀口刀片组件中包括定子支架、位于定子支架上的直线电机、与直线电机通过转接件连接的刀片以及与刀片连接的气浮滑块，定子支架的底面和侧面为气浮滑块提供导向。由于气浮导轨中的气浮滑块是悬浮在导轨上，因此减小了摩擦，而且减少了导轨磨损，提高了寿命。由于气浮导轨中气膜厚度几乎不受速度的影响，即使在极低的速度时也运动平稳，由于气浮导轨几乎不会产生热量，不会产生热变形，无需添加冷却装置，且减少了污染。

主权项

一种可动刀口装置，其特征在于，位于照明光源和掩膜版之间，包括外部框架和位于所述外部框架内的两对相互正交刀口刀片组件，每对所述刀口刀片组件包括两个相互平行的所述刀口刀片组件，每个所述刀口刀片组件中包括定子支架、位于所述定子支架上的直线电机、与所述直线电机通过转接件连接的刀片以及与所述刀片连接的气浮滑块，所述定子支架的底面和侧面为所述气浮滑块提供导向。