电感耦合等离子体发生器中的RF信号源

摘要

本实用新型涉及一种电感耦合等离子体发生器中的RF信号源，包括石英晶体振荡器、串联谐振回路和压控信号衰减器，串联谐振回路连接在石英晶体振荡器和压控信号衰减器之间，谐振于石英晶体振荡器的振荡频率，并将信号传输给压控信号衰减器，以保证信号为所需的正弦波形，并通过电容分压控制传输给压控信号衰减器的信号幅度。该信号源可配合负反馈系统，控制RF线性放大器输出功率的高低。它的特点是，动态范围大、正弦输出波形失真小，能满足大功率RF线性放大器对信号源严苛的要求。

主权项

一种电感耦合等离子体发生器中的RF信号源，包括石英晶体振荡器、串联谐振回路、压控信号衰减器，其特征在于：串联谐振回路连接在石英晶体振荡器和压控信号衰减器之间，谐振于石英晶体振荡器的振荡频率，并将信号传输给压控信号衰减器，以保证信号为所需的正弦波形，并通过电容分压控制传输给压控信号衰减器的信号幅度。