用于制造第13族氮化物晶体的设备和方法

摘要

使用通过使用熔剂方法制造第13族氮化物晶体的设备。所述设备包括反应容器、旋转机构、和结构体。所述反应容器容纳混合熔体和置于所述混合熔体中的种晶。所述混合熔体包含碱金属或碱土金属和第13族元素。所述旋转机构使所述反应容器旋转。所述结构体设置在所述反应容器内部用于搅拌所述混合熔体并且构造成使得所述结构体的接近于所述反应容器的内壁的第一部分的高度高于所述结构体的接近于所述反应容器的中心的第二部分的高度。

主权项

通过使用熔剂方法制造第13族氮化物晶体的设备，所述设备包括：反应容器，其容纳混合熔体和置于所述混合熔体中的种晶，所述混合熔体包含碱金属或碱土金属和第13族元素；旋转机构，其使所述反应容器旋转；和结构体，其设置在所述反应容器内部用于搅拌所述混合熔体并且构造成使得所述结构体的接近于所述反应容器的内壁的第一部分的高度高于所述结构体的接近于所述反应容器的中心的第二部分的高度。