发明名称 将一施覆的基材作线型构造化以制造薄层太阳电池模块的方法
摘要 一种将一施覆的基材作线型构造化以制造薄层太阳电池模块的方法,其中在一上层结构平面内产生与一下层结构平面内已有沟槽之分布相匹配的沟槽,为此需用推导自所述已有沟槽之影像的控制因子沿y向控制构造化工具(8),并且使该基材(1)在该构造化工具(8)下方来回移动。仅在正向送料时拍摄用以侦测已有沟槽的影像。在正向及反向送料时开设沟槽。
申请公布号 CN102916074B 申请公布日期 2016.07.06
申请号 CN201210272280.2 申请日期 2012.08.01
申请人 耶恩光学自动化技术股份有限公司 发明人 尤格·海奇格;萨巴斯汀·史丹巴赫;法兰克·杉朵
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人 黄灿;程美琼
主权项 一种将一施覆的基材作线型构造化以制造薄层太阳电池模块的方法,其中在一包含至少一下层结构平面和上层平面结构的多层大面积型基材中开设沿x向分布的沟槽,为此需使该基材在多个送料过程中水平沿x向在两端位间来回移动,在该基材(1)上方能够在所述送料过程之间沿y向移动至不同位置的构造化工具(8)在所述送料过程中在该上层结构平面内产生一沟槽,其中该构造化工具在控制信号控制下沿y向偏转,拍摄影像用以获取该下层结构平面内已有的沟槽,其中用所述影像推导控制信号以在所述上层结构平面内形成与在所述下层结构平面内已有沟槽的分布相匹配的沟槽,其中,仅在正向送料时进行用以获取所述下层结构平面内已有沟槽的影像,所述上层结构平面内沟槽的产生发生在正向及反向送料过程中。
地址 德国耶拿