一种微波液相等离子体发生装置

摘要

本发明公开了一种微波液相等离子体发生装置，包括：微波放电电极、固定盘和微波输入接头；所述微波放电电极底端通过固定盘与微波输入接头顶端活动连接；所述微波放电电极由轴向平行的电极内导体、陶瓷管和电极外导体依次由内到外构成；所述陶瓷管套设于电极内导体外侧壁上；所述陶瓷管与电极外导体之间具有的间隙中均匀填充有硅胶；所述微波输入接头由轴向平行的输入接头内导体、密封固定块和输入接头外导体依次由内到外构成；所述输入接头内导体通过密封固定块与输入接头外导体密封连接；本发明既便于拆卸，也易于操作，同时通过调节陶瓷管的长度，能够实现对放电电极阻抗进行调节，放电电极与馈线的阻抗匹配特性较好。

主权项

一种微波液相等离子体发生装置，其特征在于包括：微波放电电极、固定盘(6)和微波输入接头；所述微波放电电极底端通过固定盘(6)与微波输入接头顶端活动连接；所述微波放电电极由轴向平行的电极内导体(1)、陶瓷管(2)和电极外导体(4)依次由内到外构成；所述陶瓷管(2)套设于电极内导体(1)外侧壁上；所述陶瓷管(2)与电极外导体(4)之间具有的间隙中均匀填充有硅胶(3)；所述陶瓷管(2)顶端端部与电极内导体(1)顶端端部平齐且高于电极外导体(4)顶端端部；所述微波输入接头由轴向平行的输入接头内导体(8)、密封固定块(9)和输入接头外导体(10)依次由内到外构成；所述输入接头内导体(8)通过密封固定块(9)与输入接头外导体(10)密封连接；所述密封固定块(9)套设于输入接头内导体(8)上并与之过盈配合；所述密封固定块(9)具有嵌入到输入接头外导体(10)侧壁中的环状凸起部；所述输入接头外导体(10)侧壁上设有与环状凸起部相配合的环状凹槽；所述电极内导体(1)由钛金属材料制成；所述密封固定块(9)采用聚四氟乙烯材质；所述陶瓷管(2)底端端部与电极外导体(4)底端端部平齐；所述电极内导体(1)底端端部高于陶瓷管(2)底端端部，该电极内导体(1)底端连接输入接头内导体(8)顶端。