一种用于分子泵的涡轮静叶片组

摘要

本实用新型提供了一种用于分子泵的涡轮静叶片组，包括：上下分布设置的多层涡轮静叶片，每层涡轮静叶片包括中心圆盘和多个叶齿，中心圆盘的横截面为圆环形，多个叶齿均匀分布在中心圆盘的圆周上，叶齿靠近中心圆盘的一端为齿根，叶齿远离中心圆盘的一端为齿端，每个叶齿具有相同的厚度，每个叶齿与中心圆盘之间具有倾斜角。本实用新型由于叶片是旋转截面，叶片在相同的长度上及空间里，表面积大大增大，分子泵工作时分子碰撞的面积增大，增长了气体分子的运动路径，分子线速度增大，大大提高抽气速率，从而有效的解决分子泵抽速问题，使得分子泵效率更高，更节能。

主权项

一种用于分子泵的涡轮静叶片组，其特征在于：所述涡轮静叶片组包括：上下分布设置的多层涡轮静叶片，每层涡轮静叶片包括中心圆盘和多个叶齿，所述中心圆盘的横截面为圆环形，所述多个叶齿均匀分布在所述中心圆盘的圆周上，所述叶齿靠近所述中心圆盘的一端为齿根，所述叶齿远离所述中心圆盘的一端为齿端，每个叶齿具有相同的厚度，每个叶齿与所述中心圆盘之间具有倾斜角。