发明名称 高周波発生器
摘要 An RF generator has a hollow conductor having a conductive wall. The wall has a first slot, over which a first solid-state switch is arranged in order to apply a radiofrequency electrical voltage through the first slot.
申请公布号 JP5947376(B2) 申请公布日期 2016.07.06
申请号 JP20140508697 申请日期 2011.10.13
申请人 シーメンス アクチエンゲゼルシヤフトSiemens Aktiengesellschaft 发明人 ハイト、オリファー;ヒューズ、ティモスィー
分类号 H05H7/02;H01P3/12;H01P5/107;H05H7/18;H05H13/04 主分类号 H05H7/02
代理机构 代理人
主权项
地址