蚀刻设备和方法

摘要

本发明公开了蚀刻设备和方法。向工件供给蚀刻剂。此外，利用经空间调制的光来照射工件，以在供给蚀刻剂的同时调节所述工件的温度分布。

主权项

一种用于蚀刻工件的设备，包括：工件固定器；蚀刻剂供给源，其被配置成向由所述工件固定器固定的工件供给蚀刻剂；辐射源；空间辐射调制器，其被配置成对从所述辐射源向所述工件发射的辐射进行空间调制；以及控制单元，其被配置成控制所述空间辐射调制器，以在向所述工件供给蚀刻剂的同时在所述工件上建立所期望的温度分布。