一种能够与玻璃牢固结合的多层金属电极的制备方法

摘要

本发明涉及一种能够与玻璃牢固结合的多层金属电极的制备方法。本发明属于物理电源技术领域。一种能够与玻璃牢固结合的多层金属电极的制备方法，其制备过程：(1)四层结构金属电极的制作：多层金属电极采用电子束真空蒸镀的方式，将玻璃基底放在夹具上放入真空中；将金属放入真空设备的坩埚中，在气压达到1×10^-3Pa以下时开始蒸镀，玻璃基底上依次为铝-钛-钯-银结构金属层；(2)烧结处理：在热处理装置中进行烧结处理，制得能够与玻璃牢固结合的多层金属电极。本发明具有工艺简单，无需玻璃刻蚀，能够大大提高电极与玻璃衬底间结合力，产品可靠性高，牢固度好等优点；在民用、军工、航天等领域都有广泛的应用前景。

主权项

一种能够与玻璃牢固结合的多层金属电极的制备方法，其特征是：与玻璃牢固结合的多层金属电极为铝‑钛‑钯‑银金属化电极结构，其制备过程：(1)四层结构金属电极的制作多层金属电极采用电子束真空蒸镀的方式，将玻璃基底放在夹具上放入真空中；将金属放入真空设备的坩埚中，无需加热，设定铝钛钯银的厚度；在气压达到1×10^‑3Pa以下时开始蒸镀，玻璃基底上依次为铝‑钛‑钯‑银结构金属层；(2)烧结处理蒸镀完金属电极的产品在热处理装置中，进行烧结处理；烧结温度设定为250‑300℃，时间为25‑350分钟；制得能够与玻璃牢固结合的多层金属电极。