电子电路

摘要

一种电子电路包括用于MEMS传感器的驱动信号电路。该驱动信号电路包括：输入端，其被配置成接收表示电压信号，所述电压信号由MEMS传感器所产生的电荷；相移电路，其电耦合到该输入端，并且被配置成将输入信号相移大体上90度；以及具有滞后的比较器电路。比较器的输入端电耦合到相移电路的输出端，并且比较器电路的输出端电耦合到驱动信号电路的输出端。反馈回路从驱动信号电路的输出端延伸到相移电路的输入端，并且被配置成在驱动信号电路的输出端处产生自振荡信号。由驱动信号电路所产生的输出信号被施加到MEMS传感器的驱动输入端。

主权项

一种电子电路，包括：驱动信号电路，其用于微机电系统(MEMS) 传感器，所述驱动信号电路包括：输入端，其被配置成接收电压信号，所述电压信号表示由所述MEMS 传感器所产生的电荷；相移电路，其电耦合到所述输入端，并且被配置成将输入信号相移大体上90 度；具有滞后的比较器电路，其中，所述比较器的输入端电耦合到所述相移电路的输出端，并且所述比较器电路的输出端电耦合到所述驱动信号电路的输出端；以及反馈回路，其从所述驱动信号电路的输出端延伸到所述相移电路的输入端，其中，所述反馈回路被配置成在所述驱动信号电路的输出端处产生自振荡信号，并且，其中由所述驱动信号电路所产生的输出信号被施加到所述MEMS 传感器的驱动输入端。