发明名称 ミラー、ミラー装置、レーザ装置および極端紫外光生成装置
摘要 A mirror includes a mirror base provided with a flow channel through which a heat medium passes for cooling the mirror. The flow channel includes a buffer tank portion for adjusting a flow rate of the heat medium in the flow channel. A reflective film is provided on the mirror base.
申请公布号 JP5946612(B2) 申请公布日期 2016.07.06
申请号 JP20110166434 申请日期 2011.07.29
申请人 ギガフォトン株式会社 发明人 亀田 英信;若林 理
分类号 G03F7/20;G02B5/08;H05G1/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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