基于3ω法的薄层材料间接触热阻的测试方法

摘要

本发明提供一种基于3ω法的薄层材料间接触热阻的测试方法，所述的测试方法是采用3ω法分别测量待测样品对和对比样品的总热阻，然后通过作差计算得到接触热阻。所述的测量方法为：第一待测样品和第三待测样品叠加放置构成接触热阻待测样品对；第二待测样品作为对比对象；用压力加载装置调整待测样品对之间的接触压力大小；将电压测试单元与待测样品表面的加热测温金属线相连，并测量待测样品对和第二待测样品的总热阻，最后通过作差求得接触热阻。本方法可快速测量薄层材料间的接触热阻，测量原理相对其它瞬态法简单。

主权项

一种基于3ω法的薄层材料间接触热阻的测试方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1：选择第一待测样品和第二待测样品的材料，选择一个与第二待测样品材料相同的第三待测样品；步骤2：分别在第一待测样品和第二待测样品的一个面上设置加热测温金属线，如果第一待测样品或第二待测样品为金属材料则在其制作加热测温金属线的表面上先沉积一层绝缘薄膜；步骤3：将第一待测样品含有加热测温金属线的面朝上放置在第三待测样品上构成接触热阻待测样品对，调整待测样品之间的接触压力至所要测量的压力值为止；步骤4：将第一待测样品表面的加热测温金属线与电压测试单元相连；步骤5：用3ω法测量待测样品对上第一待测样品表面的加热测温金属线两端的基波电压V_ω及三次谐波电压V_3ω，然后根据3ω法测试原理计算待测样品对的总热阻Z_a；步骤6：将第二待测样品表面的加热测温金属线与电压测试单元相连；步骤7：用3ω法测量第二待测样品表面的加热测温金属线两端的基波电压V_ω及三次谐波电压V_3ω，根据3ω法测试原理计算第二待测样品的热阻Z_b；步骤8：第一待测样品和第三待测样品之间的接触热阻R_c通过待测样品对的总热阻Z_a减去第二待测样品的热阻Z_b以及第一待测样品的热阻R₁求得；其中第一待测样品的热阻R₁为：R₁＝d₁/k₁式中：k₁为第一待测样品的导热系数，d₁为第一待测样品的厚度。