一种用于原子力显微镜的气氛控制系统

摘要

一种用于原子力显微镜的气氛控制系统，其特征在于：气体瓶一（1a）和气体瓶二（1b）分别通过流量计一（3a）、流量计二（3b）与混合气管（4）的进气口相连，混合气管（4）的出气口通过进气腔（6）与原子力显微镜上的气氛腔（7）的进气口相连。该系统能为原子力显微镜提供不同气体、各种比例组成的可控混合气氛，从而使原子力显微镜能进行各种比例的不同气体组成的混合气氛下微机电系统的磨损失效、防护机理的模拟试验与研究，从而为相应混合气氛工作中的微机电系统的设计、制造与维护提供更准确、可靠的试验依据，以降低微机电系统的磨损，提高微机电系统的使用寿命。

主权项

一种用于原子力显微镜的气氛控制系统，其特征在于：气体瓶一(1a)和气体瓶二(1b)分别通过流量计一(3a)、流量计二(3b)与混合气管(4)的进气口相连，混合气管(4)的出气口通过进气腔(6)与原子力显微镜上的气氛腔(7)的进气口相连；所述的混合气管(4)的进气口还与通过流量计三(3c)与气体瓶三(1c)相连；所述的气体瓶一(1a)与流量计一(3a)的连接管路中串接有盛装水或酒精的玻璃瓶(2a)，即玻璃瓶(2a)瓶塞的进气口与气体瓶一(1a)相连，玻璃瓶(2a)瓶塞的出气口与流量计一(3a)相连；所述的进气腔(6)上安装有湿度测试仪和/或酒精浓度测试仪(5)；所述的气体瓶二(1b)与流量计二(3b)的连接管路中串接有盛装酒精或水的副玻璃瓶(2b)，即副玻璃瓶(2b)瓶塞的进气口与气体瓶二(1b)相连，副玻璃瓶(2b)瓶塞的出气口与流量计二(3b)相连。