应力匹配的悬臂梁结构及其制造方法

摘要

公开了一种应力匹配的悬臂梁结构及其制造方法。一示例方法可以包括：利用第一淀积菜单，淀积第一材料的第一子层；利用与第一淀积菜单不同的第二淀积菜单，淀积第一材料的第二子层，其中第一子层和第二子层相邻设置构成第一材料层；以及淀积与第一材料不同的第二材料的层，其中第二材料层与第一材料层相邻设置，其中，该方法还包括通过调节第一材料层的各子层的厚度以及第二材料层的厚度中至少之一，使得第一材料层和第二材料层之间应力匹配。

主权项

一种应力匹配的悬臂梁结构的制造方法，包括：利用第一淀积菜单，淀积第一材料的第一子层；利用与第一淀积菜单不同的第二淀积菜单，淀积第一材料的第二子层，其中第一子层和第二子层相邻设置构成第一材料层；以及淀积与第一材料不同的第二材料的层，其中第二材料层与第一材料层相邻设置，其中，淀积菜单包括给定的淀积工艺及针对该淀积工艺而开发的工艺参数的组合，该方法还包括通过调节第一材料层的一个或多个子层的厚度和/或第二材料层的厚度，使得第一材料层和第二材料层之间应力匹配。