掩膜板及其制造方法

摘要

本发明提供了一种掩膜板及其制造方法，属于显示技术领域。其中，所述掩膜板，包括：金属基材，所述金属基材上设置有至少一个第一镂空区域；有机覆盖层，所述有机覆盖层上设置有至少一个第二镂空区域，所述第二镂空区域的投影位于所述第一镂空区域内；所述有机覆盖层部分或全部覆盖所述金属基材。本发明的技术方案能够利用激光切割机台制造出高精度掩膜板，并且制造出的高精度掩膜板具有较好的开口精度。

主权项

一种掩膜板的制造方法，其特征在于，包括：将待加工的金属基材放置到切割机台上，并拉伸所述金属基材；对所述金属基材进行第一次切割，形成第一镂空区域；在形成有第一镂空区域的金属基材上形成一有机覆盖层，所述有机覆盖层部分或全部覆盖所述金属基材；对所述有机覆盖层进行第二次切割，形成第二镂空区域，其中，所述第二镂空区域的投影位于所述第一镂空区域内。