一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔

摘要

本实用新型公开一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔，包括有自上至下依次设置的低温样品杆、多通道连接装置、超高真空角度可调节装置、超高真空XYZ三维位移平台、上腔体、光学窗口和窗口保护腔体；所述低温样品杆与多通道连接装置真空密封连接，多通道连接装置与超高真空角度可调节装置真空密封连接，超高真空角度可调节装置与超高真空XYZ三维位移平台真空密封连接，超高真空XYZ三维位移平台与上腔体真空密封连接，上腔体与光学窗口真空密封连接，光学窗口与窗口保护腔体连接。本实用新型适合在小口径长距离条件中运用，产生高真空环境，可以供光学探测材料光学性质使用。

主权项

一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔，其特征在于：包括有自上至下依次设置的低温样品杆、多通道连接装置、超高真空角度可调节装置、超高真空XYZ三维位移平台、上腔体、光学窗口和窗口保护腔体；所述低温样品杆与多通道连接装置真空密封连接，多通道连接装置与超高真空角度可调节装置真空密封连接，超高真空角度可调节装置与超高真空XYZ三维位移平台真空密封连接，超高真空XYZ三维位移平台与上腔体真空密封连接，上腔体与光学窗口真空密封连接，光学窗口与窗口保护腔体连接。