发明名称 |
集成电路测试系统及测试方法 |
摘要 |
本发明提供了一种集成电路测试系统及测试方法,其中,所述集成电路测试系统包括:多台测试机及一台探针台,所述探针台与所述多台测试机信号连接;当探针台定位到一待测芯片后,所述探针台同时向所述多台测试机发送SOT信号。在此,采用了多台测试机,由此便能减少对待测芯片的检测周期,提高检测效率,降低检测成本。 |
申请公布号 |
CN103777131B |
申请公布日期 |
2016.07.06 |
申请号 |
CN201210413616.2 |
申请日期 |
2012.10.25 |
申请人 |
上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
发明人 |
顾良波;张志勇;余琨;王锦;叶建明;郝丹丹 |
分类号 |
G01R31/28(2006.01)I |
主分类号 |
G01R31/28(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
周耀君 |
主权项 |
一种集成电路测试系统,其特征在于,包括:多台测试机及一台探针台,所述探针台与所述多台测试机信号连接;当探针台定位到一待测芯片后,所述探针台同时向所述多台测试机发送SOT信号;还包括一分信号电路,所述分信号电路能够同时发送多个输出信号,所述探针台通过所述分信号电路与所述多台测试机信号连接。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江郭守敬路351号2号楼2楼 |