多通道射频发生器

摘要

一种多通道射频（RF）发生器模块包括N个功率放大器、M个驱动器、供电模块和控制模块。N个功率放大器分别产生N个RF输出。M个驱动器根据M个驱动器控制信号分别驱动N个功率放大器。供电模块接收交流（AC）输入功率并且根据L个线轨电压设定点将L个线轨电压分别施加给N个功率放大器。控制模块设置L个线轨电压设定点和M个驱动器控制信号。N是大于1的整数，L和M是大于0的整数，并且M和L小于或等于N。

主权项

一种多通道射频RF发生器模块，包括：N个功率放大器，所述N个功率放大器分别产生N个RF输出，每个输出被施加给相应的RF通道，其中每个RF通道均对应于等离子体室的电极；M个驱动器，所述M个驱动器分别根据M个驱动器控制信号驱动所述N个功率放大器；供电模块，所述供电模块接收交流AC输入功率，并且根据L个线轨电压设定点将L个线轨电压分别施加给所述N个功率放大器；以及控制模块，所述控制模块设置所述L个线轨电压设定点以及所述M个驱动器控制信号，其中N是大于1的整数，L和M是大于0的整数，并且M和L小于或等于N。