离子光学器件的制备方法

摘要

本发明提出一种离子光学器件的制备方法，其使用适于磨削加工工艺的硬质材料制作一个基底，该基底至少包含一个平面表面，并包含至少一层绝缘材料。接着，在平面表面上切割出一个或多个直线形沟槽，以在被直线形沟槽分离的平面表面形成多个分立的离子光学电极区域。然后，在平面表面以外的其他基底表面及基底内部导通孔内制作金属引线，以提供各离子光学电极上所需要的电压。使用硬度高的材料配合高精度的机械加工，可以获得较高的精度以及期望的分立电极轮廓。

主权项

一种离子光学器件的制备方法，包括以下步骤：使用适于磨削加工工艺的硬质材料制作一个基底，该基底至少包含一个平面表面，并包含至少一层绝缘材料；在所述平面表面上切割出一个或多个直线形沟槽，以在被所述直线形沟槽分离的平面表面形成多个分立的离子光学电极区域；以及在所述平面表面以外的其他基底表面及基底内部导通孔内制作导电引线，以提供各离子光学电极上所需要的电压；其中所述切割出一个或多个直线形沟槽的步骤的切割方法包括：用高速旋转的旋轮式金刚砂刀片与所述平面表面发生磨削，同时刀片相对基底，沿平行于所述平面表面并垂直于刀片旋转轴的方向做直线运动；并且所述方法还包括在所述基底上进一步形成用于离子引出的离子引出槽的步骤，其包括：在所述基底预先形成一个用于制作离子引出槽的预埋槽，然后用所述切割方法切穿预埋槽上部的剩余基底材料形成离子引出槽。