一种基于电流体动力的多功能微加工平台

摘要

本发明公开了一种基于电流体动力的多功能微加工平台，包括微加工喷头单元、接收基板单元、过程监测单元和系统控制单元；其中，所述的微加工喷头单元包括微加工模式调节器、喷头和进液装置；所述的接收基板单元包括接收基底、导电层、加热层和二维移动平台；所述的过程监测单元包括白光源、单筒显微镜和相机；所述的系统控制单元包括移动平台控制器、高压电源放大器和计算机。该多功能微加工平台，集成电喷涂、电纺丝、电喷印和墨水直写四种微加工模式，实现微米/亚微米尺度点、线段的图案化微加工。

主权项

一种基于电流体动力的多功能微加工平台，其特征在于，所述的微加工平台包括微加工喷头单元、接收基板单元、过程监测单元和系统控制单元；其中，所述的微加工喷头单元包括微加工模式调节器（1）、喷头（2）和进液装置（20），喷头（2）固定连接在微加工模式调节器（1）上，进液装置（20）的液体进出端通过进液管（19）与喷头（2）连接；所述的接收基板单元包括接收基底（3）、导电层（4）、加热层（5）和二维移动平台（6），接收基底（3）、导电层（4）、加热层（5）从上向下依次固定连接在二维移动平台（6）的顶面，接收基底（3）位于喷头（2）下方；所述的过程监测单元包括白光源（7）、单筒显微镜（8）和相机（9），白光源（7）位于喷头（2）的一侧，单筒显微镜（8）和相机（9）位于喷头（2）的另一侧；单筒显微镜（8）连接在相机（9）镜头上，且单筒显微镜（8）的镜头与白光源（7）的发光面相对；所述的系统控制单元包括移动平台控制器（12）、高压电源放大器（16）和计算机（18），计算机（18）的信号输入端与相机（9）的信号输出端通过相机输出线（10）连接，计算机（18）的第一信号输出端与移动平台控制器（12）的信号输入端通过移动平台控制器控制线（13）连接，移动平台控制器（12）的信号输出端通过移动平台控制连接线（11）和二维移动平台（6）的信号输入端连接；计算机（18）的第二信号输出端与高压电源放大器（16）的信号输入端通过高压电源放大器控制线（17）连接；高压电源放大器（16）的第一电源输出端与喷头（2）通过高压电源输出线（14）连接，高压电源放大器（16）的第二电源输出端与导电层（4）通过高压电源地线（15）连接；计算机（18）的第三信号输出端与进液装置（20）的信号输入端通过进液装置控制线（21）连接。