基板破片检测装置和基板加工设备

摘要

本发明提供一种基板破片检测装置，包括检测单元和输出元件，所述检测单元置于所述基板下方，所述检测单元包括光发射器及与所述光发射器相匹配的光接收器，所述输出元件与所述光接收器连接，用以输出检测结果。本发明中利用光的直线传播原理，检测基板是否破片，并通过输出元件输出检测结果，实现了对基板破片异常的检测，提高了基板的生产效率。

主权项

一种基板破片检测装置，其特征在于，包括检测单元和输出元件，所述检测单元置于所述基板下方，所述检测单元包括光发射器及与所述光发射器相匹配的光接收器，所述输出元件与所述光接收器连接，用以输出检测结果；所述基板破片检测装置工作过程中，所述光发射器发出光线，若所述基板完好，则光线传播过程中没有阻挡，光接收器接收到光线；若所述基板破片并下坠，则光线被所述基板下坠部分折射，使得所述光接收器接收不到光线；所述输出元件根据光接收器接收光线情况，输出相应检测结果。