发明名称 太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法
摘要 本发明公开了一种太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法,本发明利用滚轮纳米压印技术,突破丝网印刷技术的线宽和厚度限制,获得更细、更薄的正面电极栅线。纳米压印出来的凹槽图形结构可以填充银浆,并烧结成形。
申请公布号 CN105742380A 申请公布日期 2016.07.06
申请号 CN201610189088.5 申请日期 2016.03.30
申请人 江苏欧达丰新能源科技发展有限公司 发明人 朱学林;季益群
分类号 H01L31/0224(2006.01)I 主分类号 H01L31/0224(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法,其特征在于:包括以下步骤:1)干膜铺设:在太阳能电池表面铺设干膜,采用滚压工艺,干膜材料为热塑性感光或水溶性薄膜材料,薄膜厚度20~80微米,滚压时的温度范围60~120摄氏度,压力10KPa~200kPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;2)滚轮压印电极图形:采用滚轮压印时的温度范围60~120摄氏度,压力0.5MPa~10MPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;3)等离子体去除残留层:频率选用微波段,或者射频段,气体采用氧气O2或者四氟化碳CF4,气体流量5~200sccm,功率20~300W;4)滚轮压印银浆:采用滚轮压印时的压力0.5MPa~10MPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;5)溶解去除干膜。
地址 215300 江苏省苏州市昆山市前进东路291号413室