发明名称 |
太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法 |
摘要 |
本发明公开了一种太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法,本发明利用滚轮纳米压印技术,突破丝网印刷技术的线宽和厚度限制,获得更细、更薄的正面电极栅线。纳米压印出来的凹槽图形结构可以填充银浆,并烧结成形。 |
申请公布号 |
CN105742380A |
申请公布日期 |
2016.07.06 |
申请号 |
CN201610189088.5 |
申请日期 |
2016.03.30 |
申请人 |
江苏欧达丰新能源科技发展有限公司 |
发明人 |
朱学林;季益群 |
分类号 |
H01L31/0224(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0224(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法,其特征在于:包括以下步骤:1)干膜铺设:在太阳能电池表面铺设干膜,采用滚压工艺,干膜材料为热塑性感光或水溶性薄膜材料,薄膜厚度20~80微米,滚压时的温度范围60~120摄氏度,压力10KPa~200kPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;2)滚轮压印电极图形:采用滚轮压印时的温度范围60~120摄氏度,压力0.5MPa~10MPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;3)等离子体去除残留层:频率选用微波段,或者射频段,气体采用氧气O2或者四氟化碳CF4,气体流量5~200sccm,功率20~300W;4)滚轮压印银浆:采用滚轮压印时的压力0.5MPa~10MPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;5)溶解去除干膜。 |
地址 |
215300 江苏省苏州市昆山市前进东路291号413室 |