| 摘要 |
본 발명은, 중앙 전극 어퍼처(82)가 제공되는 전극 바디(81)를 포함하는 콜리메이터 전극에 관한 것으로, 전극 바디는 2개의 대향하는 메인 표면들 사이에 전극 높이를 정의하며, 전극 바디는 전극 바디 내부에 냉각 액체(102)를 전달하기 위한 냉각 도관(105)을 수용한다. 전극 바디는 바람직하게는 디스크 형상 또는 편원(oblate) 링 형상이다. 본 발명은 추가로, 각각 냉각 액체(102)를 전달하기 위한 냉각 도관(105)이 제공되는 제 1 콜리메이터 전극 및 제 2 콜리메이터 전극, 및 제 1 및 제 2 콜리메이터 전극들의 냉각 도관들 사이에 액체 연결을 위한 연결 도관(110)을 포함하는, 하전 입자 빔 생성기에 사용하기 위한 콜리메이터 전극 스택에 관한 것이다. |
