一种用于多晶硅制绒的系统

摘要

本实用新型涉及一种用于多晶硅制绒的系统。一种用于多晶硅制绒的系统，包括第一漂洗槽、烘箱、抛光机、第二漂洗槽、氮气吹干槽、酸制绒槽、第三漂洗槽、碱洗槽、第四漂洗槽、酸洗槽、第五漂洗槽、压缩空气吹干槽和用于传输多晶硅片的滚轮，第一漂洗槽、烘箱、抛光机、第二漂洗槽、氮气吹干槽、酸制绒槽、第三漂洗槽、碱洗槽、第四漂洗槽、酸洗槽、第五漂洗槽和压缩空气吹干槽依次相连。本实用新型公开的一种用于多晶硅制绒的系统具有以下有益效果：1、结构简单；2、多晶硅制绒效果好。

主权项

一种用于多晶硅制绒的系统，其特征在于，包括第一漂洗槽、烘箱、抛光机、第二漂洗槽、氮气吹干槽、酸制绒槽、第三漂洗槽、碱洗槽、第四漂洗槽、酸洗槽、第五漂洗槽、压缩空气吹干槽和用于传输多晶硅片的滚轮，所述第一漂洗槽、所述烘箱、所述抛光机、所述第二漂洗槽、所述氮气吹干槽、所述酸制绒槽、所述第三漂洗槽、所述碱洗槽、所述第四漂洗槽、所述酸洗槽、所述第五漂洗槽和所述压缩空气吹干槽依次相连。